Celulele de sarcină miniaturale sunt dispozitive de{0}}măsurare a forței de precizie dezvoltate pe baza tehnologiei Microelectromechanical Systems (MEMS). Aparținând categoriei de dispozitive microelectromecanice, descoperirea lor tehnologică de bază constă în optimizarea la scară nanometrică a elementelor de detectare piezoresistive semiconductoare.
Celulele de sarcină miniaturale realizează în primul rând măsurarea prin generarea de semnale electrice prin deformarea mecanică a unei diafragme miniaturale. Componenta de bază utilizează un tensiometru MEMS. Acești senzori pot fi miniaturizați la câțiva milimetri și cântăresc doar câteva grame. Tehnologia de ambalare compozită folosește o structură cu dublu strat de silicon-metal-, oferind protecție împotriva umezelii și prafului, controlând în același timp variația de temperatură cu ±0,005%/grad .
Celulele de sarcină miniaturale cuprind două tipuri principale: senzori de presiune miniaturali și accelerometre miniaturale. Acestea pot fi integrate în dispozitive inteligente portabile (cum ar fi funcțiile de monitorizare a greutății din ceasurile inteligente), electronice de larg consum (cum ar fi butoanele-sensibile la presiune de pe smartphone-uri), cântărirea liniei de producție industrială, măsurarea ambalajelor, dotarea materialelor și echipamente medicale (cum ar fi sistemele de feedback al forței comune la roboții chirurgicali), extinzând limitele aplicațiilor celulelor de sarcină.
